日本潔凈室標準 JIS B 9920潔凈度等級表
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無塵室的應用，大致可分為二類，即工業(yè)用無塵室〈Industrial Clean Room〉簡稱ICR ，和生化及醫(yī)藥用無塵室〈Biological Clean Room〉簡稱 BCR。
在工業(yè)用無塵室其清凈度規(guī)格方面，有美國聯(lián)邦標準規(guī)格 FS209E〈U.S Federal Standard 209E〉及日本國家標準 JIS B 9920 等多種參考規(guī)范。
在生化、醫(yī)藥用無菌室其要求規(guī)格有美國航空太空總署〈NASA〉規(guī)范〈NHB 5340.2〉最為普遍。無塵室的設計通常依照使用需求情況加以檢討再決定采用何種規(guī)范作為基準。
JIS B 9920標準無塵等級的濃度上限 (pcs/m3)
| 粒徑 | 無塵等級 | |||||||
| (μm) | class 1 | class 2 | class 3 | class 4 | class 5 | class 6 | class 7 | class 8 |
| 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | (106) | (107) | (108) |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23600 | ???? | ???? | ???? |
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101000 | 1010000 | 10100000 |
| 0.5 | (35) | (0.3) | 35 | 350 | 3500 | 55000 | 350000 | 3500000 |
| 5 | ???? | ???? | ???? | ???? | 29 | 290 | 2900 | 29000 |
| 無塵等級 | 0.1～0.3 | 0.1～0.5 | 0.1～5.0 | 0.3～5.0 | ||||
| 粒徑范圍 | ||||||||
| 附注 | 1 | 第3A5,6,7和8級相當于美國聯(lián)邦標準209D(無塵室和控制環(huán)境的工作站)相對的第1,100,1000,10000和100000。 | ||||||
| 2 | 濃度的上限代表等于或大于指定顆粒大小的灑度。 | |||||||
| 3 | 濃度的上限是指顆粒大小為0.1μm和0.5μm的量。 | |||||||
| 4 | 在括弧中的數(shù)字是指顆粒大小不同民指定大小的量,它們只供評估無塵等級和只當參考用而已。 | |||||||
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