無塵車間裝修施工注意事項及要求

2020一級十級百級千級精密電子潔凈工廠內(nèi)部裝修工程報價

一、千級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)

1、潔凈度

每立方米不超過0.5微米粒徑的微塵數(shù)控制在3500個以下，達(dá)到國際潔凈標(biāo)準(zhǔn)的a級。目前應(yīng)用于芯片級生產(chǎn)加工的潔凈標(biāo)準(zhǔn)對灰塵的要求高于a級，這種高標(biāo)準(zhǔn)主要應(yīng)用于一些級別高的芯片生產(chǎn)。微塵的數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這是業(yè)界通稱的1K級別。

2、壓差

對于大部分潔凈室，為了防止外部污染的侵入，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合潔凈空間的壓力高于非潔凈空間的壓力的潔凈度水平高的空間壓力高于相鄰潔凈度水平低的空間壓力的潔凈室之間的門必須向潔凈度水平高的房間打開。

壓差的維護(hù)依靠新風(fēng)量，這種新風(fēng)量應(yīng)能夠補(bǔ)償在這種壓差下從縫隙中泄漏的風(fēng)量。壓力差的物理意義是泄漏(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室各種間隙時的阻力。

3、溫濕度

通常溫度為22±2度，濕度為55±5%。
 

口罩潔凈車間效果圖3	口罩潔凈車間效果圖4

二、百級潔凈室

百級潔凈室的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動，與流體力學(xué)的層流概念不太一樣，具體是垂直層流側(cè)回風(fēng)。與100級以上之間采用的混流和混流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比，具有效果完全、運(yùn)行快速穩(wěn)定、粉塵堆積和再浮動極少、管理方便等優(yōu)點(diǎn)，但設(shè)備成本非常高，維護(hù)費(fèi)用也很高。

1、潔凈度

粒徑在0.1微米以上的最大微粒數(shù)不得超過100個。

2、壓差和溫濕度

溫度:22℃±2濕度:55%±5基本上需要滿布fu，制作高架地板。做MAUFFUDC系統(tǒng)。另外，保持正壓，相鄰房間的壓力梯度保證在10pa左右。

3、照度

潔凈室的工作內(nèi)容大多有細(xì)致的要求，而且是密閉的房子，對照明總是有很高的要求。主要有以下幾點(diǎn):

4、局部照明

這是為了增加某個指定地點(diǎn)的照度而設(shè)置的照明。但是，室內(nèi)照明一般不僅僅是局部照明。混合照明是指工作面上的照明度由一般照明和局部照明合成照明，其中一般照明度應(yīng)占總照明度的10%-15%。

凈化車間效果圖3	無塵車間效果圖4

根據(jù)《潔凈車間設(shè)計規(guī)范》編制組的調(diào)查，統(tǒng)計了工作中認(rèn)為比較合適的最低照度，其結(jié)果略高于150lx。因此，將一般照明的下限值設(shè)定為150lx是合適的，盡管在300lx時工作效率更高。根據(jù)大量的檢查測定，最低照度值達(dá)到200lx以上是很困難的，實際上150lx相當(dāng)明亮。因為平均照度比那個高得多。工作區(qū)域內(nèi)平均照度的意義不大。因為一些點(diǎn)在150lx以下，所以不適合工作。特別要求高照度操作盤點(diǎn)可采用局部照明，不能普遍提高工廠整體的最低照度標(biāo)準(zhǔn)。除了可以利用局部照明外，必要時也可以利用自然光，平面上有走廊時可以。