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用戶在向供應(yīng)商開放無塵室時，有以下提示。

一是等級定義模式如下：

(atyμm)

X是無塵室的等級，如100或10000等，Y是0.2μm、0.5μm等粒徑，可重新選擇。這意味著用戶規(guī)定無塵室的顆粒含量必須在這些粒徑中達(dá)到該等級的限制。這可以減少爭端，以下是幾個例子：

Clas1(0.1μm，0.2μm，0.5μm)

Class100(0.2μm，0.5μm)

Class1002μm，0.5μm)

在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一個粒徑。在Classeslessthan100(M3.5)(Class10，1..)，一般要看多少粒徑。

第二個技巧是規(guī)定無塵車間的狀態(tài)，例如：

Classx(atyμm)，At-rest。

供應(yīng)商很清楚，無塵室應(yīng)在At-rest狀態(tài)下進(jìn)行驗(yàn)收。

第三個技巧是自定義顆粒濃度上限。一般來說，As-built時，無塵室非常干凈，顆?？刂颇芰y試不容易。此時，可以簡單降低驗(yàn)收上限，如:

Class1000(0.3μm=10000)，As-built。

Class1000(0.5μm=1000)，As-built。

這樣做的目的是保證無塵室在Operational狀態(tài)下，仍有足夠的顆?？刂颇芰?。

以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，以及ISO-14644的等級定義。

Fed-Std-209E潔凈度定義。

ISO-14644潔凈度定義。

對比以上兩表，我們可以看到。

雖然209E的公制和英制有兩套標(biāo)準(zhǔn)可以互換，但一眼就很難看出它們的相關(guān)性。兩個系統(tǒng)放在同一張桌子上，徒然造成混淆。

在兩個表中，0.5mm幾乎出現(xiàn)在每個等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常有代表性。

在潔凈度分類上，ISO-14644的范圍比209E更廣，無論是高潔凈度還是低潔凈度。

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